Reinstgas (Ultra-High-Purity)
- Gasversorgungs- und verteilungsanlagen
- Halbleiter-Produktion, Mikro-Chip-Herstellung
- Spezialgassysteme für technische Gase, Prozessgase, Reinstgase
- Genauigkeit ±0,25 % vom Endwert
- Medienberührende Teile aus 316L-Edelstahl
- Mit ATEX-Zulassung erhältlich
- Hervorragende EMV-Stabilität
- „Flow Through“-Variante erhältlich
- Höchste Zuverlässigkeit durch kapazitive Sensorzelle
Die UHP-Druckmessumformer für Absolut-, Über- und Relativdruck wurden für anspruchsvollste Aufgaben in der Reinstgasversorgung und für Produktionsanlagen in der Halbleiterindustrie entwickelt, um einen effektiven und reibungslosen Prozess zu gewährleisten. Aufgrund ihrer hohen Oberflächengüte (Ra 0,17 µm) und des sehr geringen Totraumvolumens reduzieren sich Kosten und Zeit bei Reinigungs- und Spülvorgängen und gewährleisten eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und eine kontaminationsfreie Gasverteilung. Einstellungen von Nullpunkt- und Spanne können leicht zugänglich vorgenommen werden. Die große Auswahl an standardmäßigen, drehbaren Druckanschlüssen mit Außen- oder Innengewinde erfüllen die Anforderungen für eine einfache Systemintegration der Sensoren in der Halbleiterindustrie.
Modell | Druckbereich | Ausgangssignal | Genauigkeit FS | Besonderes Merkmal | Anwendung |
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SET-223 | - 0 ... 170 kPa
bis
0 ... 20.000 kPa
| - 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
| | | - Reinstgas- und Halbleitersysteme
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SET-224 | - 0 ... 170 kPa
bis
0 ... 20.000 kPa
| - 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
| | | - Reinstgas- und Halbleitersysteme
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SET-225 | - 0 ... 170 kPa
bis
0 ... 20.000 kPa
| - 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
| | | - Reinstgas- und Halbleitersysteme
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SET-227 | - 0 ... 170 kPa
bis
0 ... 20.000 kPa
| - 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
| | | - Reinstgas- und Halbleitersysteme
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