AbsolutdruckRelativdruckReinstgas (Ultra-High-Purity)Vakuumbereich
Barometrischer DruckDifferenzdruckIndustrie/OEMKalibriersysteme

Reinstgas (Ultra-High-Purity)

Die UHP-Druckmessumformer für Absolut-, Über- und Relativdruck wurden für anspruchsvollste Aufgaben in der Reinstgasversorgung und für Produktionsanlagen in der Halbleiterindustrie entwickelt, um einen effektiven und reibungslosen Prozess zu gewährleisten. Aufgrund ihrer hohen Oberflächengüte (Ra 0,17 ?m) und des sehr geringen Totraumvolumens reduzieren sich Kosten und Zeit bei Reinigungs- und Spülvorgängen und gewährleisten eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und eine kontaminationsfreie Gasverteilung. Einstellungen von Nullpunkt- und Spanne können leicht zugänglich vorgenommen werden. Die große Auswahl an standardmäßigen, drehbaren Druckanschlüssen mit Außen- oder Innengewinde erfüllen die Anforderungen für eine einfache Systemintegration der Sensoren in der Halbleiterindustrie.

ModellDruckbereichAusgangssignalGenauigkeit FSBesonderes MerkmalAnwendung

SET-223
  • 0 ... 170 kPa
    bis
    0 ... 20.000 kPa
  • 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
  • ±0,25%
  • Höchste Reinheit
  • Reinstgas- und Halbleitersysteme

SET-224
  • 0 ... 170 kPa
    bis
    0 ... 20.000 kPa
  • 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
  • ±0,25%
  • "Flow-Through"-Design
  • Reinstgas- und Halbleitersysteme

SET-225
  • 0 ... 170 kPa
    bis
    0 ... 20.000 kPa
  • 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
  • ±0,25%
  • Höchste Reinheit
  • Reinstgas- und Halbleitersysteme

SET-227
  • 0 ... 170 kPa
    bis
    0 ... 20.000 kPa
  • 0,5 … 4,5/5,5/10,5 VDC (3-Leiter) oder 4 … 20 mA (2-Leiter)
  • ±0,25%
  • Höchste Reinheit
  • Reinstgas- und Halbleitersysteme

Zubehör

ModellDruckbereichAusgangssignalGenauigkeit FSBesonderes MerkmalAnwendung

SET-321
  • 0 ... 30 kg
    und 0 ... 135 kg
  • 4 … 20 mA (2-Leiter)
  • ±0,1%
  • Flaches Design
  • Gasflaschen-Füllstandsbestimmung
Newsletteranmeldung